Yksi. Vaihda diffuusiopumpun öljy säännöllisesti.
Diffuusiopumppuöljyä käytetään jonkin aikaa, noin kaksi kuukautta (kaksi vuoroa). Pitkäaikaisten-korkeiden-lämpötilojen ympäristöjen vuoksi, vaikka diffuusiopumppu aktivoituu vain korkeassa tyhjiössä, jäännöshappi ja muut komponentit voivat reagoida diffuusiopumpun öljyn kanssa. Tämä korkea lämpötila voi myös aiheuttaa diffuusiopumpun öljyn hajoamista, mikä heikentää sen laatua ja pidentää pumppausaikaa. Jos katsomme pumppausajan olevan liian pitkä, se on vaihdettava.
Kaksi. Tyhjiöpumput
Mekaanisen pumppuöljyn ja huoltopumppuöljyn laatu muuttuu kahden kuukauden käytön jälkeen. Tämä voi johtua kosteudesta, epäpuhtauksista ja muista tekijöistä, jotka voivat aiheuttaa öljyn viskositeetin heikkenemisen ja tyhjiön putoamisen, jolloin öljy on vaihdettava. Uusien laitteiden vaihto tulee tehdä kahden ensimmäisen käyttöviikon aikana. Taukojakson aikana öljy sisältää runsaasti rautapölyä, mikä voi lisätä kulumista.
Kolme. Puhtaus ja hygienia
Huolehdi säännöllisesti laitteiden ja sen ympäristön hygieniasta pitäen laitteen sisä- ja ulkopinnat puhtaina ja ympäröivät alueet järjestettyinä hyvän työympäristön luomiseksi ja turvallisuuden varmistamiseksi.
Neljä. Puhdistus anOptinen tyhjiöpäällystyskone
Viikon käytön jälkeen pinnoitemateriaali ei vain pinnoita työkappaleen pintaa, vaan myös kammion sisällä olevaa vuorausta ei--suuntautuvan pinnoitteensa ansiosta. Pinnoite paksunee vähitellen.
Tämä kalvo imee löysän rakenteensa ja sotkeutumisensa vuoksi suuren määrän kaasua, jolloin tyhjiöpinnoituslaitteisto pumppaa ilmaa hitaammin. Tässä vaiheessa kammio ja vuoraus on puhdistettava. Tarpeettomat purkuosat voidaan hioa puhtaaksi.
Vuorauksen voi liottaa fluorivetyhappoliuoksessa. Fluorivetyhapon suhde veteen tulee määrittää vaaditun liotusajan ja halutun vaikutuksen perusteella. Pinta on kuivattava ennen asennusta.
Pyyhi vuoraus ennen kuivaamista mahdollisimman kuivaksi. Kun työrunko ja muut osat on puhdistettu hiekkapaperilla, poista kaikki pöly imukammiosta. Tämä voidaan tehdä pölynimurilla.
Lopuksi, kun asennat vuorauksen, sekä tyhjiökammio että vuoraus tulee puhdistaa alkoholipitoisella-pyyhkeellä. Elektronipistoolin ja ionilähteen käyttö pinnoituksen apuna voi vaikeuttaa puhdistamista; hiekkapuhallusta tai muita puhdistusmenetelmiä voidaan käyttää.
