Kalvokerros on himmeä ja tummunut.
(1) Tyhjiötaso on alle 0,67 Pa. Tyhjiön tasoa tulee nostaa 0,13-0,4 Pa:iin.
(2) Argonin puhtaus on alle 99,9 %. Argonia, jonka puhtaus on 99,99 %, tulisi käyttää.
(3) Kaasun täyttöjärjestelmän vuoto. Kaasun täyttöjärjestelmä tulee tarkastaa ja vuodot eliminoida.
(4) Pohjustus ei ole täysin kovettunut. Pohjamaalin kovettumisaikaa tulee pidentää asianmukaisesti.
(5) Liiallinen tuuletus pinnoitetusta osasta. Kuivaus- ja tiivistyskäsittely tulee suorittaa. Kalvokerroksen pinnalla on himmeä kiilto.
(6) Huonosti kovettunut tai huonokuntoinen pohjamaali. Pohjusteen kovettumisaikaa tulee pidentää asianmukaisesti tai pohjamaali on vaihdettava.
(7) Sputterointiaika on liian pitkä. Sitä tulee lyhentää sopivasti.
(8) Sputterointikalvon muodostumisnopeus on liian nopea. Sputterointivirtaa tai jännitettä tulee pienentää asianmukaisesti.
Epätasainen kalvon väri
(1) Epätasainen pohjamaalin levitys. Pohjusteen levitysmenetelmää tulisi parantaa.
(2) Kalvokerros on liian ohut. Sputterointinopeutta tulee nostaa sopivasti tai sputterointiaikaa pidentää.
(3) Sopimaton kiinnitysrakenne. Valaisimen suunnittelua pitäisi parantaa.
(4) Pinnoitetun osan geometria on liian monimutkainen. Pinnoitetun osan pyörimisnopeutta tulee lisätä sopivasti.
Ryppyinen ja halkeileva kalvo
(1) Pohjustetta levitetään liian paksusti. Paksuus tulee säätää välillä 7-10 tan.
(2) Maalin viskositeetti on liian korkea. Sitä pitäisi vähentää asianmukaisesti.
(3) Haihtumisnopeus on liian nopea. Sitä on hidastettava asianmukaisesti.
(4) Kalvo on liian paksu. Sputterointiaikaa tulee lyhentää sopivasti.
(5) Pinnoitetun osan lämpötila on liian korkea. Pinnoitetun osan lämmitysaikaa tulee lyhentää sopivasti.
Pinnoitteen pinnalla on vesileimoja, sormenjälkiä ja pölyhiukkasia.
(1) Pinnoitetut osat eivät kuivuneet riittävästi puhdistuksen jälkeen. Pre-pinnoituskäsittelyä tulisi vahvistaa.
(2) Pinnoitetuille osille roiskuu vesipisaroita tai sylkeä. Sivistynyttä tuotantoa olisi vahvistettava; käyttäjien tulee käyttää maskeja.
(3) Pinnoitettuihin osiin jää sormenjälkiä, kun käsi koskettaa pohjustusainetta. Käsikosketus pinnoitettuihin osiin tulee ehdottomasti kieltää.
(4) Maalissa on hiukkasia. Maali tulee suodattaa tai vaihtaa.
(5) Sähköstaattinen pölynpoisto on tehotonta tai ruiskutus- ja kovettumisympäristössä on hiukkaspölyä. Pölynkerääjä on vaihdettava ja työympäristö on pidettävä puhtaana.
Huono kalvon tarttuvuus
(1) Työkappaleen epätäydellinen rasvanpoisto. Pre-pinnoituskäsittelyä tulisi vahvistaa.
(2) Epäpuhdas tyhjiökammio. Tyhjiökammio on puhdistettava. On tärkeää huomioida, että kohteen lastauksen ja purkamisen aikana kädet tai epäpuhtaat esineet eivät saa joutua kosketuksiin magnetronilähteen kanssa sen korkean puhtauden varmistamiseksi, mikä on yksi tärkeimmistä kalvon tarttuvuuden parantamista koskevista toimenpiteistä.
(3) Epäpuhdas teline. Valaisin on puhdistettava.
(4) Epäasianmukainen pohjamaalin valinta. Pohjuste on vaihdettava.
(5) Väärät ruiskutusprosessiolosuhteet. Sputterointiprosessin olosuhteita tulisi parantaa.
