Monet asiakkaat ovat hämmentyneitä ostaessaantyhjiöpäällystyskoneet. He tietävät, minkä tyyppistä ja mallia pinnoituskonetta he tarvitsevat, mutta he eivät voi määrittää, mitä standardeja koneen on täytettävä, jotta sitä voidaan pitää hyvänä ja korkealaatuisena-. Tämä hämmennys saa heidät ottamaan monia kiertoteitä. Alla Puyuan Vacuum tarjoaa yksityiskohtaisen johdannon teknisiin perusvaatimuksiin, jotka tyhjiöpäällystyskoneen on täytettävä.
Tyhjiöhaihdutus, katodi-ionisaatio, magneettiruiskutus:
1.Laitteen tyhjiöputkien ja staattisten tiivistyskomponenttien rakenteen tulee olla GB/T6070:n mukainen.
2.Tyhjiömittausmittarit tulee asentaa matala--tyhjiö- ja korkea{1}}tyhjiöputkiin sekä tyhjiöpinnoituskammioon, jotta voidaan mitata tyhjiötaso kussakin paikassa. Jos sähkökentän aiheuttamaa häiriötä havaitaan, mittausporttiin tulee asentaa sähkökentän suojauslaite.
3.Jos PVD-pinnoituslaitteistossa käytetty pääpumppu on diffuusiopumppu, pumpun sisääntulopuolelle tulee asentaa öljyhöyrylukko.
4. Tyhjiöpäällystyslaitteiston päällystyskammio tulee varustaa havaintoikkunalla ja ohjauslevyllä. Havaintoikkunan tulisi mahdollistaa laskeumalähteen ja muiden kriittisten komponenttien toimintatilan tarkkailu.
5. Ionipinnoituspinnoituslähteen suunnittelun tulisi maksimoida ionisaationopeus pinnoitusprosessin aikana, parantaa pinnoitusmateriaalin käyttöastetta, sovittaa rationaalisesti pinnoituslähteen teho ja järjestää rationaalisesti saostuslähteen sijainti tyhjökammiossa.
6.Lämmityslaite on järjestettävä järkevästi; yleensä lämmittimen rakenteen tulee varmistaa pinnoitettavan työkappaleen tasainen lämpötilan nousu.
7. Työkappaleen pidike on eristettävä tyhjiökammiosta, ja työkappaleen pidikkeen suunnittelun tulee varmistaa, että työkappaleen kalvokerros on tasainen.
8. Ioni-tyhjiöpäällystyskoneissa tulisi yleensä olla työkappaleen negatiivinen bias-jännite ja ionipommitusvirtalähde. Ionipommitusvirtalähteessä tulee olla laite, joka estää epänormaalin purkauksen ja ylläpitää vakaan toiminnan.
9.Eristysresistanssiarvot tyhjökammion eri osien välillä, jotka on kytketty eri potentiaaliin, ovat GB/T11164-1999:n kohdan 4.4.6 mukaisia.
10. Muut varotoimet
(1) Ympäristön lämpötila: 10-30 astetta
(2) Suhteellinen kosteus: enintään 75 %
(3) Jäähdytysveden tulolämpötila: enintään 25 astetta
(4) Jäähdytysveden laatu: kunnallinen vesijohtovesi tai vastaavanlaatuinen vesi.
(5) Virtalähde: 380 V kolmi-vaiheinen 50 Hz tai 220 V yksivaiheinen- 50 Hz (käytetyistä sähkölaitteista riippuen); jännitteen vaihtelualue: 342-399V tai 198-231V; taajuuden vaihtelualue: 49-51Hz.
(6) Laitteen vaatima paine, lämpötila ja paineilman, nestemäisen typen, kylmän veden, kuuman veden jne. kulutus on määriteltävä tuotteen käyttöohjeessa.
(7) Laitteen ympäristön tulee olla puhdas ja ilman tulee olla vapaa pölystä tai kaasuista, jotka voivat aiheuttaa sähkökomponenttien tai muiden metalliosien syöpymistä tai metallien välistä johtumista.
