Työympäristön vaatimukset tyhjiöpäällystyskoneen

Tyhjiöpinnoitekone viittaa pääasiassa pinnoitteeseen, joka on suoritettava korkealla tyhjiöllä, mukaan lukien tyhjiö -ionin haihdutus, magnetronisputterointi, molekyylisäteen epitaksi, PLD -laser -sputterointi laskeuma ja monia muita tyyppejä. Sen pääidea on jaettu haihtumiseen ja ruiskuttamiseen.
Työympäristön vaatimukset tyhjiöpäällystyskoneen:
Tyhjiöpinnoituslaitteiden tulisi toimia tyhjiöolosuhteissa, joten laitteiden tulisi täyttää ympäristövakuutusvaatimukset. Ympäristön tyhjiövaatimuksiin sisältyy yleensä tyhjiölaitteiden vaatimukset laboratorio- (tai työpaja) lämpötilaan, ilma- ja muihin hiukkasiin ympäröivässä ympäristössä sekä osien tai pintojen vaatimukset tyhjiössä tai tyhjiössä.
Nämä kaksi näkökohtaa liittyvät läheisesti toisiinsa. Ympäröivä ympäristö vaikuttaa suoraan tyhjiölaitteiden normaaliin käyttöön; Onko tyhjiökammio vai tyhjiölaitteisiin asennetut osat puhdasta suoraan laitteen suorituskykyyn. Jos ilmassa on paljon vesihöyryä ja pölyä, odotettua tyhjiöastetta on vaikea saavuttaa pumppaamalla öljy-suljetulla mekaanisella pumpulla puhdistamatta tyhjiökammiota. On hyvin tiedossa, että öljyn suljetut mekaaniset pumput eivät saa pumpata kaasuja, jotka sisältävät hiukkaspölyä, joka on syövyttävä metalleille ja reagoiva tyhjiööljyyn. Vesihöyry on kondensoitava kaasu. Kun pumpataan suuri määrä tiivistävää kaasua, pumppuöljyn pilaantuminen on vakavampaa. Siksi pumpun lopullinen tyhjiö vähenee ja pumpun pumppausteho on heikentynyt.
Pölylle teollisuusympäristöissä on ominaista jauhemaiset vartalot, nimeämättömät silmät ja pöly. Jauhe on aine jauheen tai kiinteiden hiukkasten aggregaation tai dispersion tilassa. Niin kutsuttu jauhe viittaa pienten kiinteiden hiukkasten kokoelmaan, ja hiukkaset viittaavat pieniin aineisiin, jotka voidaan laskea yksi kerrallaan. Savu on materiaalijärjestelmä, jossa kaasun kelluvassa tilassa on pieniä kiinteitä tai nesteitä. Rakeisen tilan aineisiin, olipa se sitten kiinteä tai neste, kutsutaan yhdessä pölyhiukkasiksi. Ilman puhtausstandardi määritetään pölyhiukkaskoon koon mukaan, mikä mukauttaa puhtaan huoneen luokan. Sitä ei sovelleta vain teollisuusaloille, joilla on puhtaat vaatimukset, vaan myös tyhjövaatimuksiin puhtaita ympäristöjä varten.