Monitarppikoneiden toimintaperiaate

Multi-Arc-pinnoitekone tuottaa korkean lämpötilan plasman useiden kaarilähteiden (4-16) kautta, haihduttaa metallimateriaalin ja tallettaa sen substraatin pinnalle tehokkaan pinnoitteen (kalvon paksuuden yhdenmukaisuuden ± 5%) saavuttamiseksi . sen ytimen tyhjiökamari on jaettuna coont-kammioon (tyhjennysaste vähemmän kuin yhtä suuri kuin tasainen 10^-3 PA) ja esikäsittelykammio . Entinen varmistaa matalan vaikutuksen ympäristön, ja jälkimmäistä käytetään substraatin puhdistamiseen ja kiillottamiseen adheesion . Avainprosessin parametrit sisältävät ARC-lähdevoiman (20-200 a), substraatin lämpötilat ({{11 (1-10 nm/s), joita on dynaamisesti säädettävä substraatin muodon (kuten monimutkaisten kaarevien pintojen) ja materiaalin (metalli/keraamisen) {. mukaisesti, se sopii kohtauksiin, kuten optisen linssin vastaisen jäljennöksen anti-reflektion kalvo ja työkalun kovinpinnoitus .}