Pystysuuntainen pieni magnetroninen ruiskutus tyhjiöpäällystyslinja on edistynyt laite, joka saavuttaa korkealaatuisen ohuen kalvon laskeutumisen pienikokoisessa tilassa . Se on erityisen sopiva R & K: lle, pienelle ja keskisuurelle erätuotannolle ja korkean arvon lisätuotteille .
Sovellukset:
Metallikalvojen, kuten nikkeli ja kupari, laskeutuminen lasin, keramiikan ja litteiden tuotteiden pinnalle .
Ominaisuudet:
Pystysuuntainen rakenne
Korkea tilan käyttö:
Kammio, tyhjiöjärjestelmä, voimansiirtomekanismi jne. . on pinottu pystysuoraan, ja miehitetty lattiatila on paljon pienempi kuin vaakalaitteet, jotka sopivat erityisen laboratorioihin tai pieniin työpajoihin, joissa on rajoitetusti avaruus .
Vähemmän hiukkasten saastuminen
Painovoima helpottaa prosessin aikana syntyneiden hiukkasten putoamista pohjaan ja vähemmän todennäköisesti tarttumaan substraatin pintaan, mikä auttaa saamaan puhdistusainekalvon .
Joustava substraatin lastaus:
Yleensä käytetään ripustettavaa koria, tarjotinta tai pyörivää substraattitelinettä, minkä ansio
Suhteellisen kätevä huolto:
Pääkomponentit (kuten kohteet, substraattitelineet) voidaan yleensä ylläpitää edestä tai sivulta .
Miniatyrisointi
Alhaiset sijoituskustannukset:
Laitteiden hankinta-, asennus- ja kasvien korjauskustannukset (kuten puhtaat huoneet, sähkö ja vesijäähdytys) ovat huomattavasti alhaisemmat kuin suurten teollisuuslinjojen .
Alhaiset käyttökustannukset:
Nopea imurointi (pieni kammion tilavuus), alhainen kaasunkulutus ja alhainen sähkönkulutus .
Suuri joustavuus:
Kohdemateriaali on helppo korvata, säätää prosessiparametreja ja vaihtaa nopeasti erilaisten pinnoitustehtävien välillä . Se sopii erittäin moniyhteisöön, pieneen erätuotantoon tai R & K-kokeilutuotantoon .
Helppo integroida ja päivittää:
Se voidaan helposti integroida olemassa oleviin koeviivoihin tai pieniin tuotantoympäristöihin, ja toimintojen laajentaminen on myös helpompaa .
Magnetroni ruiskutustekniikka
Korkea laskeutumisnopeus:
Magneettikenttä sitoo elektroneja ja parantaa ionisaatiotehokkuutta, mikä johtaa suurempaan roiske- ja laskeutumisnopeuteen .
Hyvä elokuvan laatu:
Se voi tuottaa tiheitä, tasaisia ja erittäin tarttuvia metalleja, seoksia, oksideja, nitridejä, karbideja jne. .
Hyvä prosessin hallittavuus:
Ohjaamalla tarkasti parametreja, kuten kaasupaine, tehon, kaasun suhde (reaktiivinen sputterointi), substraatin esijännite, jne. ., kalvon koostumusta, rakennetta, paksuutta ja suorituskykyä voidaan hallita hienosti .
Tyhjiöpinnoite
Puhdas ympäristö:
Se suoritetaan korkeassa tyhjiöympäristössä ilmakehän pilaantumisen välttämiseksi ja elokuvan puhtauden ja suorituskyvyn varmistamiseksi .
Laajasti sovellettavat materiaalit: Lähes kaikkia kiinteitä materiaaleja (metallit, puolijohteet, keramiikka, muovit jne. .) voidaan käyttää kohteina tai substraateina .
Suositut Tagit: Pystysuuntainen magnetroninen ruiskutuspäällystyslinja, Kiinan pystysuora magnetroni -ruiskutuspäällystyslinjan valmistajat, toimittajat, tehdas
