Useita yleisiä ionilähteitä tyhjiöpäällystyskoneiden päällystysprosessissa

Työkappaleen tarttuvuuden, sitoutumisvoiman ja kalvorakenteen parantamiseksi monet tyhjiöpäällystimen koneet on varustettu ionilähteillä pinnoitusprosessin aikana.
Vaikka ionilähteitä on monen tyyppisiä, niiden tarkoitus ei ole muuta kuin online -puhdistus, mikä parantaa maljatun pinnan energian jakautumista ja modulointia reaktiokaasun energian lisäämiseksi. Ionilähde voi parantaa huomattavasti kalvon ja substraatin välistä sitoutumislujuutta ja voi myös parantaa itse kalvon kovuutta ja kulumista. Jos elektropnoivan työkalun kulutuskestävä kerros on yleensä paksumpi ja kalvon paksuuden tasaisuus ei ole korkea, voidaan käyttää ionilähdettä, jolla on suurempi ionivirta ja korkeampi energiataso, kuten Hall-ionilähde tai anodin ionilähde.
Anodikerroksen ionilähteen periaate on samanlainen kuin Hall -ionilähteen periaate. Rengasmainen (suorakaiteen muotoinen tai pyöreä) kapea rako lisätään parannetulla magneettikentällä, ja toimiva kaasu ionisoidaan ja vapautetaan työkappaleelle anodin toiminnan alla. Anodikerroksen ionilähde voidaan tehdä erittäin suureksi ja pitkäksi, mikä sopii erityisen suurten osien, kuten arkkitehtuurilasin, elektronointiin. Anodikerroksen ionilähteen ionivirta on myös suuri. Ionivirta on kuitenkin erilainen ja energiatason jakauma on liian leveä. Se sopii yleensä suurille työkappaleille, lasille, kulumiskeskeille ja koristeellisille työkappaleille. Mutta edistyneissä optisissa pinnoitteissa ei ole paljon sovelluksia.
Tämä tyhjiöpäällystys on varustettu Hall -ionilähteellä, jossa anodi ja vahva aksiaalinen magneettikenttä toimivat yhdessä prosessikaasun ionisoimiseksi. Aksiaalisen magneettikentän voimakas epätasapaino erottaa kaasu -ionit ionisäteen muodostamiseksi. Koska aksiaalinen magneettikenttä on liian voimakas, Hall -ionilähteen ionisätettä on täydennettävä elektroneilla ionin virtauksen neutraloimiseksi. Yleinen neutralointilähde on volframilaite (katodi).