1. Tyhjiökammio
Tyhjiökammio on tyhjiöpäällystyskoneen ydinosa. Sen päätehtävä on luoda tyhjiöympäristö ja pitää pinnoitusprosessi tyhjiötilassa. Tyhjiökammio on yleensä valmistettu ruostumattomasta teräksestä tai alumiiniseosmateriaaleista, joilla on korkea tyhjiötiiviste ja korroosionkestävyys.
2. pumppujärjestelmä
Pumppujärjestelmä on yksi tyhjiöpäällystyskoneen avainkomponenteista. Se on pääasiassa vastuussa kaasun uuttamisesta tyhjiökammiossa tyhjiöasteen saavuttamiseksi vaadittavaan asteeseen. Pumppujärjestelmä koostuu yleensä molekyylipumppuista, mekaanisista pumppuista ja diffuusiopumppuista. Eri pumpun yhdistelmät voivat saavuttaa erilaisia tyhjiöasteita ja pumppausnopeuksia.
3. Substraatin kiinnityslaite
Substraatin kiinnityslaite on toinen tärkeä osa tyhjiöpinnoitekoneessa. Sitä käytetään päällystettävän substraattimateriaalin kiinnittämiseen ja sen sijainnin ja liikkeen etenemisen hallintaan. Substraatin kiinnityslaite koostuu yleensä pyörivästä pöydästä, nostomekanismista ja substraatin kiinnittimestä. Eri kiinnittimet voivat sopeutua eri muotojen ja kokojen substraateihin.
4. lämmitysjärjestelmä
Lämmitysjärjestelmä on välttämätön komponentti tyhjiöpäällystyskoneessa. Se voi lämmittää substraattia ja pinnoiteainetta pinnoitteen muodostumisen edistämiseksi ja sen laadun parantamiseksi. Lämmitysjärjestelmä toteutetaan yleensä vastusjohdolla, sähkömagneettisella lämmityksellä, induktiolämmityksellä ja muilla menetelmillä.
5. Pinnoituslähde
Pinnoituslähde on viimeinen komponentti tyhjiöpäällystyskoneessa. Sitä käytetään päällystetyn materiaalin tarjoamiseen, mukaan lukien metallit, keramiikka, pii ja muut materiaalit. Pinnoituslähde voi tallettaa substraatin materiaalin elektronisäteen, haihtumisen, ruiskuttamisen ja muiden menetelmien avulla vaaditun pinnoitteen muodostamiseksi.
Yhteenveto: Tyhjiöpinnoitekone on laite, jota käytetään korkealaatuisten pinnoitteiden valmistukseen, joissa tyhjiökammio, pumppujärjestelmä, substraatin puristuslaite, lämmitysjärjestelmä ja pinnoituslähde ovat sen pääkomponentit. Nämä komponentit toimivat yhdessä pinnoitteen valmisteluprosessin loppuun saattamiseksi.
