Optisen päällystyskoneen toimintavaiheet sisältävät useita linkkejä. Seuraavat ovat yksityiskohtaiset käyttövaiheet:
1. Alustava valmistelu
Tarkista koneen tila:
Tarkista, onko optinen päällystyskone normaalissa työolosuhteissa, mukaan lukien virtalähde, kaasulähde, jäähdytysjärjestelmä jne. Normaali.
Poista roskia koneen sisällä ja sen ympärillä, erityisesti haihtumismateriaalijäännökset, puhtaan työympäristön varmistamiseksi.
Materiaalin valmistelu:
Valitse korkealaatuiset optiset linssit tai muut materiaalit, jotka on päällystettävä.
Valmista haihdutusmateriaalit, kuten metallikohteet, varmistaaksesi, että materiaalien puhtaus ja laatu täyttävät vaatimukset.
Laitteiden valmistelu:
Valmista tarvittavat pinnoituslaitteet, kuten tyhjiökalvon paksuusmittarit, tyhjiöpumput ja ionilähteet.
Tarkista, onko laite ehjä varmistaaksesi, että se voi toimia normaalisti.
Ympäristön valmistelu:
Varmista, että pinnoituskammio on tiukasti suljettu eikä ilmavuotoja ole.
Valmista puhdistustyökalut, kuten puhdistusneste ja deionisoitu vesi, samoin kuin hiominen, puhdistaminen ja muut työkalut.
2. pinnoitteen esikäsittely
Kiillotus:
Hienoa optisen linssin hienojakin pienten masennuksien ja epäpuhtauksien poistamiseksi pinnalle.
Puhdistus:
Käytä erityistä puhdistusnestettä ja ultraäänipuhdistuslaitteita optisen linssin puhdistamiseksi, jotta pinta on puhdas.
Puhdistuksen jälkeen huuhtele deionisoidulla vedellä jäännöspuhdistusnesteen poistamiseksi.
Tyhjiölämmitys:
Laita puhdistettu linssi tyhjiökammioon ja lämmitä linssi sähkölämmityksellä.
Pinnalla adsorboitu kaasu haihdutetaan ja pumpataan pois pinnoitusympäristön puhtauden varmistamiseksi.
3. Pinnoitusoperaatio
Aseta prosessiparametrit:
Pinnoitusvaatimusten mukaan aseta asianmukaiset prosessiparametrit, kuten haihdutuslämpötila, haihtumisnopeus, tyhjiöaste jne.
Haihtumisprosessi:
Lisää haihdutusmateriaali haihtumislähteeseen, kuten volframihahlan.
Kytke haihtumislähde päälle, suorita haihtumisprosessi ja vapauta aktiiviset atomit.
Elokuvan laskeuma:
Käytä tyhjiökammiossa olevia energialähteitä, kuten ionilähteitä tai elektronisäteitä haihtuneiden atomien tai molekyylien keräämiseksi linssin pinnalle.
Laskutusprosessin aikana tyhjiökalvon paksuusmittaria käytetään kalvon paksuuden seuraamiseen reaaliajassa varmistaakseen, että ennalta määrätyt vaatimukset täytetään.
Ylilämmitys:
Laskeutumisprosessin aikana voi olla tarpeen käyttää apulämmitystekniikkaa substraatin pinnan lämmittämiseen kalvokerroksen itsekonsenointikämpötilaan, joka edistää kalvokerroksen tiivistymistä ja kiinteyttämistä.
4. pinnoitushoito
Jäähdytys:
Kun pinnoitusprosessi on valmis, sammuta energialähteet, kuten haihtumislähde ja ionilähde.
Anna tyhjiökammion jäähtyä luonnollisesti huoneenlämpötilaan tai käyttää pakotettua jäähdytystä jäähdytysprosessin nopeuttamiseksi.
Poista työkappale:
Kun tyhjiökammion ilmanpaine palaa normaaliin paineeseen, avaa tyhjiökammion ovi ja ota päällystetty linssi pois.
Puhdistus ja tarkastus:
Puhdista päällystetty linssi poistamaan epäpuhtaudet, jotka voivat pysyä pinnalla.
Tarkista pinnoitteen laatu, mukaan lukien kalvon paksuus, tasaisuus, optinen suorituskyky jne. Täyttää vaatimukset.
5. Ylläpito ja hoito
Puhdista reaktiokammio:
Puhdista säännöllisesti reaktiokammion ja komponenttien, kuten lämmityslevyn, sisätilat jäännöshaihdutusmateriaalien ja epäpuhtauksien poistamiseksi.
Osien vaihtaminen:
Laitteiden käytön mukaan korvaa osat säännöllisesti vakavalla kulumisella, kuten haihdutuslähde, ionilähde jne.
Huolto:
Suorita laitteiden kattava huolto, mukaan lukien tarkistaminen, toimivatko virtalähde, kaasulähde, jäähdytysjärjestelmä jne.
Kalibroi ja virheenkorjaus laitteet säännöllisesti pinnoitteen tarkkuuden ja vakauden varmistamiseksi.
Yllä olevat ovat optisen päällystyskoneen perusvaiheet. Eri mallien ja eritelmien optisella pinnoituskoneilla voi olla erilaiset erityiset toiminnot. Siksi varsinaisessa käyttöprosessissa laitteen käsikirjaa tulisi noudattaa tiukasti ja asiaankuuluvia turvallisuusmääräyksiä ja toimintamenettelyjä olisi noudatettava.
