Elektronisuihkuhaihdutuksen tarkoituksena on sijoittaa kalvomateriaali vesi-jäähdytettyyn kupariupokkaaseen ja käyttää suoraan elektronisuihkukuumennusta saadakseen kalvomateriaalissa olevat atomit tai molekyylit höyrystymään ja karkaamaan pinnalta, menemään sitten substraatin pintaan ja tiivistymään kalvoksi.
Elektronisuihkuhaihdutuksella on korkeampi lämpöhyötysuhde, suurempi säteen virrantiheys, nopeampi haihtumisnopeus ja kalvon korkeampi puhtaus kuin yleisellä vastuslämmityshaihdutuksella.
Sovellukset:
Optinen päällystyskone voi päällystää erilaisia kalvojärjestelmiä useilla kerroksilla, kuten lyhyt-aaltopäästö, pitkä-aaltopäästö, heijastuksenestokalvo, heijastava kalvo, suodatinkalvo, spektroskooppinen kalvo, kaistanpäästökalvo, dielektrinen kalvo, korkea-heijastava kalvo, väriheijastava kalvo jne.
Se voi saavuttaa kalvopäällysteen 0-50 kalvokerrosta, ja se voi myös täyttää sellaisten tuotteiden pinnoitusvaatimukset, kuten autojen heijastava lasi, silmälasit, optiset linssit, kylmät valokupit jne.
Se voi päällystää useita kalvojärjestelmiä erilaisilla haihdutuslähteillä, elektronitykillä, ionilähteillä ja kalvonpaksuusmittareilla, ja se voi haihduttaa metalleja, oksideja, yhdisteitä ja muita korkean -sulamispisteen-kalvomateriaaleja.
Ominaisuudet:
Optinen päällystyskone on varustettu kvartsikidekalvon paksuusmittarilla, ja PLC ja kosketusnäyttöjärjestelmä yhdistetään koko työprosessin automaattisen ohjauksen toteuttamiseksi erinomaisella työteholla ja tuotteen laadun toistettavuudella.
Sopii valmistajien käyttöön optisen alan ja suurissa{0}}teollisen tuotannon vaatimuksissa.
Tekniset tiedot:
| Optinen päällystyskone | |||||||
|
Malli |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kammion koko |
Φ800×1000MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Tyhjiöyksikkö |
KT500 diffuusiopumppuyksikkö |
KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
KT500 diffuusiopumppuyksikkö |
KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
|
Pinnoitejärjestelmä |
Elektronipistoolin haihdutuslähde, päällystysapuionikohtainen virtalähde tai Hall-ionilähde |
||||||
|
Inflaatiojärjestelmä |
Paineen säädin |
||||||
|
Valvontamenetelmä |
Manuaalinen tai täysin automaattinen |
||||||
|
Kalvon paksuuden valvontajärjestelmä |
Kvartsikidekalvon paksuuden valvontajärjestelmä |
||||||
|
Pumppausnopeus |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Lopullinen tyhjiö |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Huomautus |
Yllä olevat laiteparametrit ovat vain viitteellisiä, ja ne on suunniteltu ja räätälöity asiakkaiden todellisten prosessivaatimusten mukaan. |
||||||
Suositut Tagit: e-beam optical coater, Kiina e-beam optical coater valmistajat, toimittajat, tehdas
