e-sädetyhjiöpäällystyskoneen tarkoituksena on sijoittaa kalvomateriaali vesi-jäähdytettyyn kupariupokkaaseen ja käyttää suoraan elektronisuihkukuumennusta saadakseen kalvomateriaalissa olevat atomit tai molekyylit höyrystymään ja poistumaan pinnalta, menemään sitten substraatin pintaan ja tiivistymään kalvoksi.
Elektronisuihkuhaihdutuksella on korkeampi lämpöhyötysuhde, suurempi säteen virrantiheys, nopeampi haihtumisnopeus ja kalvon korkeampi puhtaus kuin yleisellä vastuslämmityshaihdutuksella.
Sovellukset:
Optiset tyhjiöpinnoituslaitteet voivat päällystää erilaisia kalvojärjestelmiä, joissa on suuri määrä kerroksia, kuten lyhyt-aaltopäästö, pitkä{1}}aaltopäästö, heijastuksenestokalvo, heijastava kalvo, suodatinkalvo, spektroskooppinen kalvo, kaistanpäästökalvo, dielektrinen kalvo, korkea{3}}heijastava kalvo, värillinen heijastava kalvo jne.
Se voi saavuttaa kalvopäällysteen 0-50 kalvokerrosta, ja se voi myös täyttää pinnoitusvaatimukset tuotteille, kuten autojen heijastava lasi, silmälasit, optiset linssit, kylmät valokupit jne.
Se voi päällystää useita kalvojärjestelmiä erilaisilla haihdutuslähteillä, elektronipistooleilla, ionilähteillä ja kalvonpaksuusmittarilla, ja se voi haihduttaa metalleja, oksideja, yhdisteitä ja muita korkean -sulamispisteen-kalvomateriaaleja.
Ominaisuudet:
e-palkkityhjiöpäällystyskone on varustettu kvartsikidekalvon paksuusmittarilla, ja PLC- ja kosketusnäyttöjärjestelmä on yhdistetty koko työprosessin automaattiseen ohjaukseen erinomaisella työteholla ja tuotteen laadun toistettavuudella.
Soveltuu valmistajien käyttöön optisen alan ja suurten{0}}teollisen tuotannon vaatimusten mukaisesti
Tekniset tiedot:
| Optinen tyhjiöpinnoituskone | |||||||
|
Malli |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kammion koko |
Φ800×1000MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Tyhjiöyksikkö |
KT500 diffuusiopumppuyksikkö |
KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
KT500 diffuusiopumppuyksikkö |
KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
|
Pinnoitejärjestelmä |
Elektronipistoolin haihdutuslähde, päällystysapuionien erillinen virtalähde tai Hall-ionilähde |
||||||
|
Inflaatiojärjestelmä |
Paineen säädin |
||||||
|
Valvontamenetelmä |
Manuaalinen tai täysin automaattinen |
||||||
|
Kalvon paksuuden valvontajärjestelmä |
Kvartsikidekalvon paksuuden valvontajärjestelmä |
||||||
|
Pumppausnopeus |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Lopullinen tyhjiö |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Huomautus |
Yllä olevat laiteparametrit ovat vain viitteellisiä, ja ne on suunniteltu ja räätälöity asiakkaiden todellisten prosessivaatimusten mukaan. |
||||||
Suositut Tagit: e-palkkityhjiöpäällystyskone, Kiina e-palkkityhjiöpäällystyskoneiden valmistajat, toimittajat, tehdas
