elektronisuihkutyhjiöpäällystyskoneen tarkoituksena on sijoittaa kalvomateriaali vesi-jäähdytettyyn kupariupokkaaseen ja käyttää suoraan elektronisuihkukuumennusta saadakseen kalvomateriaalissa olevat atomit tai molekyylit höyrystymään ja karkaamaan pinnalta, menemään sitten substraatin pintaan ja tiivistymään kalvoksi.
Elektronisuihkuhaihdutuksella on korkeampi lämpöhyötysuhde, suurempi säteen virrantiheys, nopeampi haihtumisnopeus ja kalvon korkeampi puhtaus kuin yleisellä vastuslämmityshaihdutuksella.
Sovellukset:
Optisilla tyhjiöpinnoituslaitteistoilla voidaan päällystää useita kalvojärjestelmiä useilla kerroksilla, kuten lyhyt-aaltopäästö, pitkä-aaltopäästö, heijastuksenestokalvo, heijastava kalvo, suodatinkalvo, spektroskooppinen kalvo, kaistanpäästökalvo, dielektrinen kalvo, korkea{3}}heijastava kalvo, värikalvo jne.
Se voi saavuttaa kalvopäällysteen 0-50 kalvokerrosta, ja se voi myös täyttää sellaisten tuotteiden pinnoitusvaatimukset, kuten autojen heijastava lasi, silmälasit, optiset linssit, kylmät valokupit jne.
Se voi päällystää useita kalvojärjestelmiä erilaisilla haihdutuslähteillä, elektronitykillä, ionilähteillä ja kalvonpaksuusmittareilla, ja se voi haihduttaa metalleja, oksideja, yhdisteitä ja muita korkean -sulamispisteen-kalvomateriaaleja.
Ominaisuudet:
Elektronisuihkutyhjiöpäällystyskone on varustettu kvartsikidekalvon paksuusmittarilla, ja PLC- ja kosketusnäyttöjärjestelmä yhdistetään koko työprosessin automaattisen ohjauksen toteuttamiseksi erinomaisella työtehokkuudella ja tuotteen laadun toistettavuudella.
Soveltuu valmistajien käyttöön optisen alan ja suurten{0}}teollisen tuotannon vaatimusten mukaisesti
Tekniset tiedot:
| Optinen tyhjiöpinnoituskone | |||||||
|
Malli |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kammion koko |
Φ800×1000MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Tyhjiöyksikkö |
KT500 diffuusiopumppuyksikkö |
KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
KT500 diffuusiopumppuyksikkö |
KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
Kaksinkertainen KT630 diffuusiopumppuyksikkö |
|
Pinnoitejärjestelmä |
Elektronipistoolin haihdutuslähde, päällystysapuionikohtainen virtalähde tai Hall-ionilähde |
||||||
|
Inflaatiojärjestelmä |
Paineen säädin |
||||||
|
Valvontamenetelmä |
Manuaalinen tai täysin automaattinen |
||||||
|
Kalvon paksuuden valvontajärjestelmä |
Kvartsikidekalvon paksuuden valvontajärjestelmä |
||||||
|
Pumppausnopeus |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Lopullinen tyhjiö |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Huomautus |
Yllä olevat laiteparametrit ovat vain viitteellisiä, ja ne on suunniteltu ja räätälöity asiakkaiden todellisten prosessivaatimusten mukaan. |
||||||
Suositut Tagit: elektronisuihkutyhjiöpäällystyskone, Kiina elektronisuihkutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajat, toimittajat, tehdas
