Tyhjiöpinnoituslaitteetkohtaa käytön aikana usein odottamattomia tilanteita, kuten vesikatkoja, sähkökatkoksia ja ilmavuotoja. Tällaisissa tilanteissa käyttäjät voivat olla hukassa eivätkä ole varmoja siitä, miten ne käsitellään. Alla Puyuan Vacuum tarjoaa yksityiskohtaisen hätäsuunnitelman tyhjiöpinnoituslaitteiden toiminnalle:
1. PVD-pinnoituslaitteet on puhdistettava käytön jälkeen.
Käyttöjakson, tyypillisesti 50–70 uunisyklin, jälkeen PVD-pinnoituslaitteisto on puhdistettava pölyn poistamiseksi uunista. Käytä sitten uunia kerran ilman kuormaa. Toimenpide käsittää ensin uunin tyhjennyksen yli 10-2 Pa:n alipainetasolle, sitten kuumentamisen lämpötilaan, joka on yleensä 20 astetta korkeampi kuin normaali käyttölämpötila. Pidä tämä lämpötila korkeimmalla mahdollisella tasolla vähintään tunnin ajan ja anna sen sitten jäähtyä luonnollisesti. Tämä prosessi pitää tyhjiöpäällystyslaitteiston sisätilan puhtaana.
2. Kaasupullon vaihto
Kun tyhjiöpäällystyslaitteistossa käytetty kaasupullo on vaihdettava, irrota paineensäätöventtiili ja vaihda se uuteen kaasupulloon. Varmista, että asennuksen aikana ei ole vuotoja. Sylinterin vaihdon jälkeen ennen työkappaleen lämmittämistä uuni tulee tyhjentää tyhjennysprosessin aikana, jotta putkistoon jäänyt ilma voidaan poistaa sylinterin vaihdon aikana ja pitää huuhteluputki puhtaana.
3. Levitä pieni määrä voiteluöljyä pyöriviin osiin.
Levitä pieni määrä tyhjiöpumppuöljyä pyöriviin osiin voitelua varten. Varmista, että tyhjiöpumppu on puhdas, rautaa, hiekkaa ja pölytön. Varmista hyvä kontakti paikannusjärjestelmässä. Tyhjiöpumpun tulee pyöriä helposti ilman epätasaisuutta tai vakavia tukoksia.
4. Äkillinen ilmavuoto havaittu normaalin käytön aikana
Jos normaalikäytössä havaitaan äkillinen ilmavuoto ja vuotokohta voidaan paikantaa välittömästi, se on tiivistettävä tyhjiötiivisteellä. Lisäkorjauksia voidaan tehdä nykyisten töiden valmistuttua. Jos vuotoa ei löydy, työ on lopetettava välittömästi ja korjattava.
5. Vesi- ja sähkökatkot korkeiden lämpötilojen aikana
Tyhjiölaitteet ovat alttiimpia vesi- ja sähkökatkoille korkeissa lämpötiloissa. Siksi käyttäjien tulisi ihanteellisesti asentaa varavesisäiliö tai liittää se vesijohtoverkkoon laitteiden asennuksen aikana. Jos laitteessa ilmenee vesi- tai sähkökatkos korkeiden lämpötilojen aikana, kaikki pumput ja venttiilit on suljettava. Käyttäjien tulee välittömästi kytkeä varavesijohto tai vesijohtovesi veteen-jäähdyttää laitteita. Jos virtaa ei voida palauttaa nopeasti, täyttö-/tyhjennysjärjestelmän manuaalinen täyttöventtiili tulee avata laitteiston täyttämiseksi suojaksi ja täyttöpaine on noin -0,02 MPa. Käännä sitten kaikki ohjauskaapin painikkeet "off"-asentoon. Levitä samanaikaisesti kostea pyyhe elektrodin ulostulorajapintaan ja vaihda se säännöllisesti estääksesi elektrodin rajapinnan ylikuumenemisen ja tiivisterenkaan vaurioitumisen.
Tyhjiöpinnoituslaitteiden parissa työskentelevänä insinöörinä hätätilannesuunnitelmien hallitseminen on välttämätöntä. Odottamattomia tilanteita voi syntyä käytön aikana, ja oikea-aikainen puuttuminen on välttämätöntä tarpeettomien tappioiden välttämiseksi.
